| 椭圆偏振光谱法教学中的解谱建模渗透 |
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| 引用本文： | 曹春斌,孙兆奇,宋学萍. 椭圆偏振光谱法教学中的解谱建模渗透[J]. 大学物理, 2010, 29(6) |
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| 作者姓名： | 曹春斌 孙兆奇 宋学萍 |
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| 作者单位： | 安徽农业大学,理学院,安徽,合肥,230036;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;光电信息获取与控制教育部重点实验室,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;光电信息获取与控制教育部重点实验室,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,教育部博士点专项基金,安徽省人才专项基金,安徽省高等学校省级自然科学研究项目,安徽省信息材料与器件重点实验室开放基金,安徽大学人才队伍建设基金资助课题 |
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| 摘 要： | 利用椭偏光谱技术可以快速准确地获得薄膜的厚度、光学常数等信息,在材料学本科及研究生相关专业的教学中占有重要地位.但教学中大多注重理论原理分析,而对于椭偏解谱建模较少涉及.本文较全面地介绍了解谱中常用的各种模型并详细阐述了各自的适用范围,进一步通过应用实例系统研究了椭偏解谱建模的方法和技巧.
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| 关 键 词： | 椭偏光谱技术 解谱建模 高校物理教学 |
Modeling involvement in teaching process of spectroscopic ellipsometry |
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| CAO Chun-bin,SUN Zhao-qi,SONG Xue-ping. Modeling involvement in teaching process of spectroscopic ellipsometry[J]. College Physics, 2010, 29(6) |
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| Authors: | CAO Chun-bin SUN Zhao-qi SONG Xue-ping |
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