| 电容式微加速度计零偏的补偿方法 |
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| 引用本文： | 刘民杰,董景新. 电容式微加速度计零偏的补偿方法[J]. 中国惯性技术学报, 2008, 16(1): 86-89 |
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| 作者姓名： | 刘民杰 董景新 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题.针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF的测量精度.采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18 um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下,取得了1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性.
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| 关 键 词： | 微小电容阵列 基于电荷的电容测量方法 补偿 仿真 电容式 加速度计零偏 补偿方法 accelerometer micro capacitive bias 相对精度 工艺 CMOS 金属 多晶硅 线宽 仿真验证 对微 测量精度 测量方法 电荷 电容阵列 权重 |
| 文章编号： | 1005-6734(2008)01-0086-04 |
| 修稿时间： | 2007-10-29 |
Compensation for bias in capacitive micro accelerometer |
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| LIU Min-jie,DONG Jing-xin. Compensation for bias in capacitive micro accelerometer[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2008, 16(1): 86-89 |
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| Authors: | LIU Min-jie DONG Jing-xin |
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