|
|||||
|
|
| 具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型 | |
| 引用本文： | 余建华, 赖建军. 具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(08). |
| 作者姓名： | 余建华 赖建军 |
| 作者单位： | 1.深圳大学 工程技术学院,广东 深圳 51 8060;;;2.华中科技大学 光电子工程系,湖北 武汉 430074 |
| 摘 要： | 运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性。理论研究表明,γ电离过程在高电流模式运行中起主要作用,并证实了此类放电中存在显著的电子摆钟效应,具有类似于空心阴极放电的特征。 |
| 关 键 词： | 射频放电 空心阴极放电 两电子组模型 |
| 点击此处可从《强激光与粒子束》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《强激光与粒子束》下载全文 | |