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用于微波电路的单层片式晶界层电容器
引用本文:程超,蔡杨,杨俊峰,冯毅龙,赵海飞.用于微波电路的单层片式晶界层电容器[J].微波学报,2007,23(Z1).
作者姓名:程超  蔡杨  杨俊峰  冯毅龙  赵海飞
作者单位:广州翔宇微电子有限公司,广州,510288
基金项目:科技部科技型中小企业技术创新项目,广东省广州市科技计划基金
摘    要:研究了施主掺杂还原气氛烧结的SrTiO3基半导体瓷的组成与性能关系.通过等效电路分析,XRD、SEM显微结构观察,探讨晶界效应及其特性对瓷料性能作用的机理,从而制成介电系数可调(10000~50000),电容量变化率低(≤±4.7%~≤±22%),使用温域宽(-55℃~ 125℃)的单层片式晶界层电容器瓷片.通过在瓷片上溅射和电镀方法制作电极,并以光刻腐蚀,精密加工成通用型、表面贴装型、多电极型和阵列型的单层片式电容器,用于微波电路.

关 键 词:单层片式电容器  晶界层  介电系数  温度特性  系列产品

Grain Boundary Layer Cermaic Single Layer Chip Capacitor for Microwave Circuit
CHENG Chao,CAI Yang,YANG Jun-feng,FENG Yi-long,ZHAO Hai-fei.Grain Boundary Layer Cermaic Single Layer Chip Capacitor for Microwave Circuit[J].Journal of Microwaves,2007,23(Z1).
Authors:CHENG Chao  CAI Yang  YANG Jun-feng  FENG Yi-long  ZHAO Hai-fei
Abstract:
Keywords:Single layer chip capacitor  Grain boundary layer  Dielectric constant  Temperature characteristic  Series product
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