| 在以Cu/Re镀膜为过渡层的铁衬底上沉积金刚石膜 |
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| 引用本文： | 王胜文,曾效舒,徐才录,梁吉,魏秉庆,吴德海.在以Cu/Re镀膜为过渡层的铁衬底上沉积金刚石膜[J].人工晶体学报,1999,28(3):271-274. |
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| 作者姓名： | 王胜文 曾效舒 徐才录 梁吉 魏秉庆 吴德海 |
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| 作者单位： | 清华大学机械系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文采用热丝ＣＶＤ法在以Ｃｕ／Ｒｅ镀膜为过渡层的铁衬底上沉积金刚石薄膜，研究了以Ｒｅ作为铁衬底上沉积金刚石膜的过渡层的制备工艺及其对沉积金刚石膜的影响。实验结果表明：在铁 底上难以直接镀上铼膜，但 铜上镀铼比铁衬底上镀铼要容易得多，且镀铼层质量好。以Ｃｕ／Ｒｅ复合膜为过渡层，以巴基管为成核剂可以在铁衬底上沉积出质量很好的金刚石膜。
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| 关 键 词： | 金刚石膜 铼 巴基管 化学气相沉积 |
Deposition of Diamond Films on the Iron Substrate by the Cu/Re Intermediate Layer |
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| Wang Shengwen,Zeng Xiaoshu,Xu Cailu,Liang Ji,Wei Bingqin,Wu Dehai.Deposition of Diamond Films on the Iron Substrate by the Cu/Re Intermediate Layer[J].Journal of Synthetic Crystals,1999,28(3):271-274. |
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| Authors: | Wang Shengwen Zeng Xiaoshu Xu Cailu Liang Ji Wei Bingqin Wu Dehai |
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