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| 杜邦4815干膜应用技术 | |
| 引用本文： | 陈全寿.杜邦4815干膜应用技术[J].电子工艺简讯,1995(3):9-10. |
| 作者姓名： | 陈全寿 |
| 摘 要： | 本文较详细地介绍了美国杜邦公司４８１５干膜的性能和它在微波器件电路制作，尤其是在孔金属化微波器件电路制作中的应用，提供了在我所现有设备（ＹＺＢ－５００曝光机和ＪＢＡ２０００光刻机）条件下，用４８１５干膜工艺能制作出最精细的电路尺寸和间隙值，即国内的新记录。 |
| 关 键 词： | 光刻机 爆光时间 干膜 细线 间隙 |
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