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组合脉冲—稳态的脉冲等离子体沉积

引用本文：	马兵.组合脉冲—稳态的脉冲等离子体沉积[J].等离子体应用技术快报,2000(2):7-9.

作者姓名：	马兵

摘要：
关键词：	涂层材料辉光放电等离子体涂层 TiN涂层氮化肽组合脉冲－稳态脉冲等离子体沉积
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