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一种新型高精度温度补偿压力传感器
引用本文:
方凯,王荣.一种新型高精度温度补偿压力传感器[J].半导体技术,1989(5):19-23.
作者姓名:
方凯
王荣
作者单位:
辽宁大学物理系 (方凯),辽宁大学物理系(王荣)
摘 要:
本文是根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系,将温度补偿晶体管代换扩散硅压力传感器中的温度补偿电阻,从而制出一种新型高精度温度补偿压力传感器.
关 键 词:
温度补偿
压力传感器
传感器
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