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掩模—硅片光电自动对准
引用本文:
丁天怀.掩模—硅片光电自动对准[J].电子工业专用设备,1981(2).
作者姓名:
丁天怀
作者单位:
清华大学精仪系
摘 要:
本文文绍了几种实现掩模—硅片精确定位的光电自动对准方法及系统。着重讨论了它们的原理、特点及光电信号的转换,并列表说明了国内外部分自动光刻设备中自动对准装置的主要性能指标。
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