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| 硅n+p结中金的两个深能级及相对浓度分布的测量 | |
| 引用本文： | 王红理,傅春寅.硅n+p结中金的两个深能级及相对浓度分布的测量[J].光子学报,1996,25(7):614-618. |
| 作者姓名： | 王红理 傅春寅 |
| 作者单位： | 西安交通大学理学院实验物理中心，北京大学物理系 |
| 摘 要： | 本文用深能级瞬态谱(DLTS)方法对p型单晶硅中n+p结掺金形成的两个深能级进行了实验研究,并对DLTS方法中传统计算深中心浓度分布的公式进行了改进,给出了深能级及相对浓度分布更为准确的测量结果。 |
| 关 键 词： | n+p结 深能级瞬态谱法 掺金 深能级 掺杂浓度 |
| 修稿时间： | 1995-06-05 |
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