| 衍射微透镜列阵在Shack-Hartmann波前传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 杜春雷,郭履容.衍射微透镜列阵在Shack-Hartmann波前传感器中的应用[J].光子学报,1996,25(8):732-735. |
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| 作者姓名： | 杜春雷 郭履容 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所, 微细加工光学技术国家重点实验室, 成都610509;2. 四川大学信息光学研究所四川大学信息光学研究所, 成都610064 |
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| 摘 要： | 菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartmann 波前传感实验系统,用该系统可对入射波前进行测量和重建.
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| 关 键 词： | 微透镜列阵 衍射光学元件 Shack-Hartmann 波前传感器 |
| 收稿时间： | 1995-07-14 |
APPLICATION OF MICROLENS ARRAY IN SHACK-HARTMANN WAVEFRONT SENSOR |
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| Du Chunlei,Lin Dajian,Zhou Mingbao,Guo Lurong,Guo Yongkang.APPLICATION OF MICROLENS ARRAY IN SHACK-HARTMANN WAVEFRONT SENSOR[J].Acta Photonica Sinica,1996,25(8):732-735. |
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| Authors: | Du Chunlei Lin Dajian Zhou Mingbao Guo Lurong Guo Yongkang |
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| Institution: | 1. State Key Lab of Optical Technologies for Microfabrication, Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209;2. Information Optics Institute of Sichuan University, Chengdu 610064 |
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| Abstract: | As an application of 8-phase step Fresnel zone microlens array,a miniature ShackHartmann sensor experimental system has been set up for testing the quality of optical elements.The corresponding algorithm and software have been developed for wavefront reconstruction analysis. |
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| Keywords: | Microlens array Diffraetional optical element Shack-Hartmann wavefront sensor |
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