| 微机械加速度计自动测试系统 |
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| 引用本文： | 胡佩达,董景新,赵长德,李童杰,孙宵. 微机械加速度计自动测试系统[J]. 中国惯性技术学报, 2008, 16(2): 212-215 |
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| 作者姓名： | 胡佩达 董景新 赵长德 李童杰 孙宵 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为了精确、高效地测量微机械加速度计的各项性能指标,并尽可能地降低地线干扰,系统采用DAQ-2213数据采集卡采集加速度计输出电压,使用多个独立电源及差模接法来降低地线干扰;温度敏感元件采用Pt100,电阻到电压变换电路采用三线制接法,选择PCI-(A)9114数据采集卡采集变换电路输出的电压值;采用Labview7.0接口函数实时显示加速度计输出电压和温度值,并输出有图表的Word文档.系统经过标定,输出电压精度为40 μV,温度精度为0.277℃.实验表明,系统能实时测量微机械加速度计的输出电压和温度值,而采用独立电源和差模输入可有效减少各路信号之间的干扰.
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 自动测试 多路采集 地线干扰 标定 微机械加速度计 动测试系统 accelerometer MEMS measuring system 干扰 信号 输入 实时测量 实验 温度精度 电压精度 标定 文档 Word 温度值 实时显示 接口函数 电压值 输出 |
| 文章编号： | 1005-6734(2008)02-0212-04 |
| 修稿时间： | 2008-01-29 |
Automatic measuring system of MEMS accelerometer |
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| HU Pei-da,DONG Jing-xin,ZHAO Chang-de,LI Tong-jie,Sun Xiao. Automatic measuring system of MEMS accelerometer[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2008, 16(2): 212-215 |
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| Authors: | HU Pei-da DONG Jing-xin ZHAO Chang-de LI Tong-jie Sun Xiao |
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