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| 非球面光学元件的面形检测技术 | |
| 作者姓名： | 师途 杨甬英 张磊 刘东 |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.11275172);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2013QNA5006);现代光学仪器国家重点实验室创新基金资助项目(No.MOI201208) |
| 摘 要： | 介绍了非球面各加工阶段的面形检测技术及其最新进展,重点介绍了非球面精密抛光期的面形检测技术,并对其中的非零位子孔径拼接干涉检测法和部分补偿法进行了详细阐述,提出了适用于大口径、深度非球面面形检测的组合干涉法的概念。概述了近年来受到关注的自由曲面非球面的发展和检测技术现状,展望了非球面检测技术的发展趋势。 |
| 关 键 词： | 非球面检测 非球面加工 组合干涉检测 自由曲面 |
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