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分析光学薄膜的椭偏方程的计算方法
作者姓名:范正修  杨本祺
作者单位:中国科学院上海光学精密机械研究所(范正修),中国科学院上海光学精密机械研究所(杨本祺)
摘    要:叙述了用测量到的椭偏角ψ及Δ来确定光学薄膜的折射率、厚度和消光系数的方法.该方法收敛较快并节省时间.

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