Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证 |
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引用本文: | 朱硕,张晓辉.Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证[J].光学学报,2013(6):95-102. |
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作者姓名: | 朱硕 张晓辉 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学 |
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基金项目: | 国家863计划(2012AA040503);国家自然科学基金重点基金(11034007)资助课题 |
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摘 要: | 为进一步提高Ritchey-Common法的检测精度,分析了实验中Ritchey角精度对整体检测结果的影响。通过仿真模拟,分析并确定出最佳Ritchey角测试范围在20°~50°之间,此时面形误差检测结果精度可达0.01λ(λ=0.6328μm)。仿真过程中模拟Ritchey角存在误差时对检测结果的影响,当Ritchey角误差控制在±1°时,拟合结果与原始面形的残差降至0.0007λ,能够满足测试要求。针对Ritchey角测量存在误差的问题,利用测得系统光瞳面的图像压缩比例来计算Ritchey角大小,此方法的计算误差可控制在0.2°以内。实验中选择3个角度来检测,在数据处理时将测得数据两两组合进行解算。29.6°&47.8°组合拟合结果与Zygo干涉仪直接检测结果的残差的峰谷(PV)值为0.068λ、均方根(RMS)值为0.0105λ,证明Ritchey角的选择及其计算精度对检测整体精度具有一定影响。
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关 键 词: | 测量 光学检测 Ritchey-Common 大口径平面镜 检测精度 |
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