| 新型添加剂对单晶硅表面金字塔形貌的影响 |
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| 引用本文： | 田嘉彤,冯仕猛,王坤霞,徐华天,杨树泉,刘峰,黄建华,裴俊. 新型添加剂对单晶硅表面金字塔形貌的影响[J]. 物理学报, 2012, 61(2): 066803 |
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| 作者姓名： | 田嘉彤 冯仕猛 王坤霞 徐华天 杨树泉 刘峰 黄建华 裴俊 |
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| 作者单位： | 上海交通大学物理系光学工程, 上海 200240;上海交通大学物理系光学工程, 上海 200240;上海交通大学物理系光学工程, 上海 200240;上海交通大学物理系光学工程, 上海 200240;上海航天技术研究院, 上海 200082;上海交大林洋太阳能光伏研发中心, 上海 201109;上海交大林洋太阳能光伏研发中心, 上海 201109;上海神舟新能源发展有限公司, 上海 201112 |
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| 基金项目： | 上海航天基金(批准号:GC072003) 资助的课题. |
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| 摘 要： | 单晶硅表面微结构对晶体硅光电转换性能有非常重要的影响, 晶体硅表面微结构的调节技术一直是半导体、 太阳能电池领域研究的热点之一.利用碱液与单晶硅异向腐蚀特性的刻蚀技术, 在单晶硅表面可以获得布满金字塔的绒面, 但普通碱液刻蚀的绒面, 其金字塔大小、 形貌和分布随机性大, 不利于提高硅太阳电池的转换效率.在普通的碱腐蚀液中加入不同量的特种添加剂, 然后在相同的温度、 时间下刻蚀单晶硅表面, 通过观察样品表面SEM图, 发现在普通碱液中加入适量添加剂后刻蚀的单晶硅表面能形成均匀密集分布金字塔, 金字塔大小在2
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| 关 键 词： | 单晶硅 绒面结构 刻蚀碱液 反射率 |
The influence of new additive in alkaline solution on the shape of pyramid on the monocrystal Si surface |
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| Tian Jia-Tong,Feng Shi-Meng,Wang Kun-Xi,Xu Hua-Tian,Yang Shu-Quan,Liu Feng,Huang Jian-Hua and Pei Jun. The influence of new additive in alkaline solution on the shape of pyramid on the monocrystal Si surface[J]. Acta Physica Sinica, 2012, 61(2): 066803 |
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| Authors: | Tian Jia-Tong Feng Shi-Meng Wang Kun-Xi Xu Hua-Tian Yang Shu-Quan Liu Feng Huang Jian-Hua Pei Jun |
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| Affiliation: | Physics Department of Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China;Physics Department of Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China;Physics Department of Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China;Physics Department of Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China;Shanghai Academy of Spaceflight Technology, Shanghai 200082, China;Shanghai JiaoTong LinYang Solar Photovoltaic R & D Center, Shanghai 201109, China;Shanghai JiaoTong LinYang Solar Photovoltaic R & D Center, Shanghai 201109, China;Shanghai Shenzhou New Energy Development Co., Ltd, Shanghai 201112, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | single crystal Si micro-structure alkaline solution reflectivity |
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