| 氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能 |
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| 引用本文： | 雷红,张泽芳.氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能[J].微细加工技术,2008(1). |
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| 作者姓名： | 雷红 张泽芳 |
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| 作者单位： | 1. 上海大学,纳米中心,上海,200444
2. 上海大学,纳米中心,上海,200444;上海大学,理学院,化学系,上海,200444 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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上海市自然科学基金
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上海市教委第五期重点学科资助项目 |
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| 摘 要： | 在化学机械抛光(CMP)中,为了提高氧化铝磨料的分散稳定性及减少抛光划痕,通过硅烷偶联剂在其表面接枝了聚甲基丙烯酸(PMAA)制得了一种新型的复合粒子(α-Al2O3-g-PMAA).SEM结果表明,制得的复合粒子分散稳定性明显提高.进而用SPEEDFAM-16B-4M抛光机研究了其在玻璃基片中的抛光性能.抛光后玻璃基片表面的ZYGO表面形貌仪和AFM分析结果表明,在相同的抛光条件下,与纯Al2O3磨料相比,所制得的复合粒子表现出了低的表面粗糙度及划痕.该复合粒子可望用做新型CMP磨粒.
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| 关 键 词： | 氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子 化学机械抛光 玻璃基片 氧化铝磨料 聚甲基丙烯酸 复合粒子 抛光性能 Performances Polishing alumina Abrasive Composite 磨粒 表面粗糙度 表现 抛光条件 分析 表面形貌 玻璃基片 研究 抛光机 结果 PMAA |
Polishing Performances of α-alumina/Polymethacrylic Acid Composite Abrasive |
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| LEI Hong,ZHANG Ze-fang.Polishing Performances of α-alumina/Polymethacrylic Acid Composite Abrasive[J].Microfabrication Technology,2008(1). |
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| Authors: | LEI Hong ZHANG Ze-fang |
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| Institution: | LEI Hong1,ZHANG Ze-fang1,2(1.Research Center of Nanoscience , Nanotechnology,Shanghai University,Shanghai 200444,China,2.School of Sciences,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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