| 原子力显微镜 |
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| 引用本文： | 张亦奕,贺节,商广义,姚骏恩. 原子力显微镜[J]. 光学学报, 1995, 15(1): 12-116 |
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| 作者姓名： | 张亦奕 贺节 商广义 姚骏恩 |
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| 作者单位： | 中国科学院北京电子显微镜实验室 |
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| 摘 要： | 研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜，通过对云母、光栅、光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率，最大扫描范围可达７μｍ×７μｍ。文中将对这台原子力显微镜的原理、结构及一些应用结果进行讨论。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 光学偏转法 |
| 收稿时间： | 1993-10-19 |
An Atomic Force Microscope |
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| Zhang Yiyi, He Jie, Shang Guangyi,Yao Junen. An Atomic Force Microscope[J]. Acta Optica Sinica, 1995, 15(1): 12-116 |
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| Authors: | Zhang Yiyi He Jie Shang Guangyi Yao Junen |
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| Abstract: | An atomic force microscope based on the optical level detection method hasbeen developed and atomic resolution is achieved. The scanning range is 7 Urn × 7 μm.images of mica. optical grating and compact stamper are shown. In this paper thetheory,construunction and experiment results are described. |
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| Keywords: | atomic force microscope optical level detection method. |
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