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| 激光直接刻蚀图形的质量分析 | |
| 引用本文： | 徐则川,刘书龙.激光直接刻蚀图形的质量分析[J].华中理工大学学报,1997,25(3):99-102. |
| 作者姓名： | 徐则川 刘书龙 |
| 作者单位： | [1]华中理工大学固体电子学系 [2]物理系 |
| 摘 要： | 在激光剥离机制的基础上，分析了激光直接刻蚀过程中，蒸气压及热传导对图形刻蚀质量的影响，并得出了刻蚀不同厚度Ａｌ的激光能量密度，脉冲频率和刻蚀脉冲数的最佳组合，对Ｔａｌｂｏｔ成像法中对比度对图形刻蚀质量的影响也进行了分析。 |
| 关 键 词： | 准分子激光 直接刻蚀 图形质量 光刻 |
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