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| 新型激光驱动可变形反射镜的模型、研制及特性 | |
| 引用本文： | 向东,王青玲,张光勇,周丽娜.新型激光驱动可变形反射镜的模型、研制及特性[J].半导体学报,2007,28(2). |
| 作者姓名： | 向东 王青玲 张光勇 周丽娜 |
| 作者单位： | 1. 中国地质大学数学与物理学院,武汉,430074;华中科技大学光电子信息与工程学院,武汉,430074 2. 中国地质大学地球物理与空间信息学院,武汉,430074 3. 华中科技大学激光国家重点实验室,武汉,430074 4. 中国地质大学数学与物理学院,武汉,430074 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的利用激光驱动的可变形反射镜.它包括三个部分:以聚脂薄膜为主体做成的2μm厚的镜面,支撑镜面的6μm高栅格状的支撑柱,由光敏材料砷化镓(GaAs)构成的感光底层.同时在镜面与感光底层之间施加偏置的高频交流电压.当感光底层背面被激光照亮时,GaAs中载流子的变化导致镜面与感光底层之间电阻的重新分布,从而镜面与感光底层之间电压发生变化,因此在静电力的作用下镜面将会发生相应的形变.文中分析了此反射镜工作的理论模型,介绍了此装置的制作工艺,并通过实验验证了偏置电压幅值、交流电压频率等参数对可变形反射镜性能的影响. |
| 关 键 词： | 自适应光学 可变形反射镜 光驱动 光学特性 |
Modeling, Fabrication, and Characterization of a Novel Optically Driven Deformable Mirror |
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| Xiang Dong,Wang Qingling,Zhang Guangyong,Zhou Lina.Modeling, Fabrication, and Characterization of a Novel Optically Driven Deformable Mirror[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(2). | |
| Authors: | Xiang Dong Wang Qingling Zhang Guangyong Zhou Lina |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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