| 一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析 |
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| 引用本文： | 吴旭明,王小东,何国荣,王青,曹玉莲,谭满清.一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析[J].半导体学报,2007,28(1). |
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| 作者姓名： | 吴旭明 王小东 何国荣 王青 曹玉莲 谭满清 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083
2. 中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室,北京,100083 |
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| 摘 要： | 提出了一种微光机电系统(MOEMS)可调谐滤波器结构,该结构采用GaAs/AlGaAs作为下分布布拉格反射镜(DBR),GaAs和SiO2/Si介质膜作为上DBR,空气作为腔.按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数,如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计.研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系.结果表明挠度与长度成正方向变化,同梁厚度、宽度成反方向变化,而调谐速度与各参数的关系恰好相反.
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| 关 键 词： | 微光机电系统 调谐 滤波器 |
Design and Analysis of a Long Wavelength MOEMS Tunable Filter |
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| Wu Xuming,Wang Xiaodong,He Guorong,Wang Qing,Cao Yulian,Tan Manqing.Design and Analysis of a Long Wavelength MOEMS Tunable Filter[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(1). |
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| Authors: | Wu Xuming Wang Xiaodong He Guorong Wang Qing Cao Yulian Tan Manqing |
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