| InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟 |
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| 引用本文： | 吴旭明,王小东,何国荣,王青,曹玉莲,谭满清.InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟[J].半导体学报,2007,28(2). |
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| 作者姓名： | 吴旭明 王小东 何国荣 王青 曹玉莲 谭满清 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | InP基微光机电系统(MOEMS)可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象,其原因是在生长的时候,As原子进入InP梁,产生了内部梯度应力.使用有限元分析软件,建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法.模拟了单臂梁和双臂梁的弯曲变形情况,理论与实验吻合.研究了As原子浓度和梁厚度对梁变形情况的影响,结果表明降低As原子浓度和增大梁厚度都有助于抑制梁的变形.
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| 关 键 词： | 微光机电系统 可调谐 变形 梯度应力 |
Deformation Simulation on the Beam of InP-Based MOEMS Tunable Devices |
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| Wu Xuming,Wang Xiaodong,He Guorong,Wang Qing,Cao Yulian,Tan Manqing.Deformation Simulation on the Beam of InP-Based MOEMS Tunable Devices[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(2). |
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| Authors: | Wu Xuming Wang Xiaodong He Guorong Wang Qing Cao Yulian Tan Manqing |
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