| 红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究 |
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| 引用本文： | 刘冬梅,刘爽,付秀华,张静,何松霖.红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究[J].光子学报,2015,44(3). |
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| 作者姓名： | 刘冬梅 刘爽 付秀华 张静 何松霖 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院,长春,130022 |
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| 摘 要： | 研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用"拆分技术要求"的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求.
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| 关 键 词： | 带通滤光片 膜系设计 拆分技术要求 红外线治疗仪 电子束蒸发 离子辅助淀积技术 石英晶控控制法 |
Study and Fabrication of Broad Band-pass Filters in Infrared Therapy Apparatus |
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| LIU Dong-mei,LIU Shuang,FU Xiu-hua,ZHANG Jing,HE Song-lin.Study and Fabrication of Broad Band-pass Filters in Infrared Therapy Apparatus[J].Acta Photonica Sinica,2015,44(3). |
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| Authors: | LIU Dong-mei LIU Shuang FU Xiu-hua ZHANG Jing HE Song-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Band-pass filter Film system design Splitting technical requirements Infrared therapy apparatus Electron beam evaporation Ion beam assisted deposition Crystal-controlled |
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