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| 激光在集成电路生产工艺测量中的应用 | |
| 引用本文： | 中泽喜和雄.激光在集成电路生产工艺测量中的应用[J].电子工业专用设备,1977(3). |
| 作者姓名： | 中泽喜和雄 |
| 摘 要： | 随着激光的应用领域不断扩大,已逐步把它应用到测量方面,近年已取得了很大的成绩。激光具有可干涉性、直线传播性、高亮度、振荡范围广等特性,根据各个测量题目可以灵活地使用。近年来迅速发展的集成电路器件相关的测量方面研制了不少应用激光的测量设备。如人们熟知的那样,高集成度集成电路是在数毫米 |
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