离子溅射在物质微观组织结构研究中的应用 |
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引用本文: | 程鹏翥. 离子溅射在物质微观组织结构研究中的应用[J]. 物理, 1984, 13(7). |
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作者姓名: | 程鹏翥 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所 |
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摘 要: | 离子溅射自1852年被Crove[1]研究以来,至今已发展成为一种用途颇广的技术.如清洁固体表面、溅射淀积薄膜、制作微电子线路、加工光学器件、侵蚀金相样品及制作透射电子显微镜薄箔样品等.后两者现已成为研究物质微观组织结构的手段之一.四十年代末,有人用溅射法侵蚀锻件的“流线”,五十年代初,溅射法已被用来制备透射电镜样品.1960年Paulus和Reverchon[2]用装有离子枪的装置,制备锰?...
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