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| 光学仪器 眼镜、放大镜、显微镜、望远镜 | |
| 摘 要： | TH742.9 2005021541 扩展差动共焦显微系统量程范围的方法与措施=An ap- proach to expansion measurement range of heterodyne con- focal microscopy system刊,中]／赵维谦(哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所．黑龙江,哈尔滨(150001)), 邱丽荣…//光电子·激光．-2004,15(9)．-1083-1087 为扩展差动共焦显微镜(HCMS)的测量量程范围,使 其满足三维微细结构和三维表面轮廓测量时的需求,基于 |
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