1×11亚波长结构Dammann光栅的研制

论文基于严格耦合波理论（Rigorous Coupled-Wave Analysis，RCWA），并采用遗传算法进行优化，设计并制作了一种具有高衍射效率的亚波长结构Dammann 光栅。光栅的分束比为111，最小特征尺寸为0.95 m，衍射效率设计值达到95%，优于传统Dammann 光栅约15%，且均匀性设计值小于2%。论文采用电子束光刻直写技术和反应离子刻蚀技术在石英基底上制作出亚波长结构图形。实验结果表明，电子束扫描曝光可以获得纳米级的图形分辨率。对石英基底的反应离子刻蚀中，射频功率、工作气压及气体流量均对刻蚀速率和栅线的表面形貌产生不同程度的影响，论文主要针对该问题进行了讨论。同时，论文也对电子束光刻直写过程中产生的线宽误差因素进行了分析。