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In0.63Ga0.37As/InP压应变量子阱的GSMBE生长及特性研究
引用本文:
王晓亮,孙殿照.In0.63Ga0.37As/InP压应变量子阱的GSMBE生长及特性研究[J].红外与毫米波学报,1997,16(1):1-6.
作者姓名:
王晓亮
孙殿照
作者单位:
中国科学院半导体研究所,中国科学院西安光学精密机械研究所
摘 要:
用GSMBE方法生长出了高质量的具有不同阱宽(l~11nm)的In0.63Ga0.37As/InP压应变量子阱结构材料.通过双晶X射线衍射测量及计算机模拟确定了阱层中的In组份.对材料进行了低温光致发光谱测试,确定了压应变量子阱中的激子跃迁能量.半高宽数值表明,量子阱界面具有原子级的平整度.与7nm和9nm阱所对应的低温光致发光谱峰的半高宽为4.5meV.
关 键 词:
分子束外延,In0.63Ga0.37As/InP,量子阱,光致发光
STUDY OF GSMBE GROWTH AND CHARACTERISTICS OF COMPRESSIVELY STRAINED In 0.63 Ga 0.37 As/InP QUANTUM WELLS
Abstract:
Keywords:
molecular beam epitaxy
In
x
Ga
1-x
As/InP
quantum wells
photoluminescence
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