| 用SiC薄膜作防氚渗透阻挡层的研究 |
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| 引用本文： | 姚振宇,严辉,谭利文,韩华. 用SiC薄膜作防氚渗透阻挡层的研究[J]. 核聚变与等离子体物理, 2002, 22(2): 65-70 |
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| 作者姓名： | 姚振宇 严辉 谭利文 韩华 |
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| 作者单位： | 1. 中国原子能科学研究院,北京,102413
2. 北京工业大学,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家“八六三”计划混合堆资助项目 (86 3- 6 14- 0 3- 0 3- 11)，北京市自然科学基金资助项目 (2 992 0 0 2 ) |
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| 摘 要： | 采用分步偏压辅助射频溅射法在316L不锈钢表面制备SiC薄膜，作为聚变堆第一壁及包层结构材料的氚渗透阻挡层，扫描电镜观察表明，制备的膜致密，均匀，且与基体结合牢固。X射线衍射分析表明，膜具有（111）面择优取向的β-SiC微晶结构。傅里叶变换红外光谱分析发现，对应于β-SiC的Si-C键存在伸缩振动吸收峰，采用中间复合过渡层技术，可以提高SiC膜与不锈钢基体的结合强度。测量了500℃时带有SiC膜的316L不锈钢的氚渗透率，与表面镀钯膜的316L相比，氚渗透率减低因子（PRF）值达到10^4以上，溅射时衬底偏压和射频功率要影响膜的结构，从而影响PRF值，根据分析结果，从不同的膜制备工艺中初步筛选出了合适工艺。
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| 关 键 词： | SiC薄膜 防氚渗透阻挡层 碳化碳膜 射频溅射 聚变堆 制备工艺 |
| 文章编号： | 0254-6086(2002)02-0065-06 |
| 修稿时间： | 2001-04-24 |
RESEARCH ON SIC FILM AS TRITIUM PERMEATION BARRIER |
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| YAO Zhen yu ,YAN Hui ,TAN Li wen ,HAN Hua. RESEARCH ON SIC FILM AS TRITIUM PERMEATION BARRIER[J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 2002, 22(2): 65-70 |
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| Authors: | YAO Zhen yu YAN Hui TAN Li wen HAN Hua |
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| Affiliation: | YAO Zhen yu 1,YAN Hui 2,TAN Li wen 2,HAN Hua 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SiC film Tritium permeation barrier Radio frequency sputtering |
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