| 微细笔直写聚合物条形光波导的研究 |
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| 作者姓名： | 李金洪 董林红 王泽敏 许德胜 朱大庆 曾晓雁 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电子科学与工程学院,武汉光电国家实验室,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究计划发展专项经费;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出一种采用微细笔直写技术直写聚合物光波导的简便方法,利用该技术成功直写出了氟化聚酰胺条形光波导,并着重研究了气体压力和直写速度对波导宽度的影响规律。实验结果表明：直写获得的条形波导的边缘整齐、表面光滑,而且不存在小孔等缺陷或杂质。当其他工艺参数不变的情况下,波导宽度随着气体压力的增加而增大,随着直写速度的增大而减小。微细笔直写获得的条形光波导成功地实现了通光,在波长为1550nm处的最小传输损耗为0.59dB/cm。
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| 关 键 词： | 集成光学 聚合物光波导 直写技术 微细笔 |
| 文章编号： | 1002-2082（2007）02-0236-04 |
| 收稿时间： | 2006-11-22 |
| 修稿时间： | 2006-11-222006-12-11 |
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