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| 火焰原子吸收光谱法测定固态磷扩散源中钾钠 | |
| 引用本文： | 李小英.火焰原子吸收光谱法测定固态磷扩散源中钾钠[J].理化检验(化学分册),1995,31(4):229-229,231. |
| 作者姓名： | 李小英 |
| 作者单位： | 地矿部成部综合岩矿测试中心 610081 |
| 摘 要： | 大规模集成电路用磷扩散源,是国际上70年代发展起来的新型扩散源材料。自1980年由中国建筑材料科学研究院研制成功固态磷扩散源。磷扩散源中主成分P_2O_5、Al_2O_3的量分别为70.68％、10.76％,杂质K_2O、Na_2O的含量均小于0.05％。至今,未见有关固态磷扩散源中杂质及主成分化学分析的文献。查得唯一文献是对液态磷源(PCl_3、POCl_3中杂质元素的发射光谱分析。 |
| 关 键 词： | 固态磷 扩散源 原子吸收光谱法 磷 钾 钠 |
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