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| 提高半导体器件欧姆接触可靠性的扩散阻挡层及其应用 | |
| 引用本文： | 张万荣,李志国.提高半导体器件欧姆接触可靠性的扩散阻挡层及其应用[J].电子工艺技术,1998,19(1):4-6. |
| 作者姓名： | 张万荣 李志国 |
| 作者单位： | 北京工业大学 |
| 基金项目： | 北京市科技新星计划基金 |
| 摘 要： | 为了提高半导体器件欧姆接触的可靠性，一般要在金属化系统中加扩散阻挡层。文中介绍了阻挡层的种类及其特性，并进行了比较和讨论。最后给出了在实际成功应用的例子。 |
| 关 键 词： | 半导体 欧姆接触 扩散阻挡层 |
Diffusion Barrier Layer and Application in Improving Ohmic Contact Reliability of Semiconductor Devices |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Semiconductor devices Ohmic contact Diffusion barrier layer |
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