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氧化Ⅲ族化合物半导体薄膜中的缺陷（一）

引用本文：	郝建民.氧化Ⅲ族化合物半导体薄膜中的缺陷（一）[J].电子材料快报,1996(3):13-14.

作者姓名：	郝建民

摘要：
关键词：	氮化镓氮化铝氮化铜缺陷半导体薄膜
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