|
|||||
|
|
| 不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究 | |
| 引用本文： | 罗海瀚,蔡清元,李耀鹏,刘定权.不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究[J].光学学报,2014(4):296-298. |
| 作者姓名： | 罗海瀚 蔡清元 李耀鹏 刘定权 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所; |
| 基金项目： | 中国科学院上海技术物理研究所创新专项(Q-DX-24);上海市自然科学基金青年项目(13ZR1463700) |
| 摘 要： | 光学薄膜的光学特性是薄膜设计与制备的基础。硅材料是红外光学薄膜中一种重要的高折射率材料。研究了在不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的折射率和消光系数的变化。结果表明,在200℃时,硅薄膜折射率最大,消光系数随温度升高而减小。 |
| 关 键 词： | 薄膜 非晶硅 光学特性 沉积温度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |