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MOS反型层中迁移率的测试技术
引用本文:丁辛芳,于克南,徐一禾,黄金彪.MOS反型层中迁移率的测试技术[J].半导体技术,1985(1).
作者姓名:丁辛芳  于克南  徐一禾  黄金彪
作者单位:南京工学院 (丁辛芳,于克南,徐一禾),南京工学院(黄金彪)
摘    要:本文提出了三种测量半导体表面迁移率的方法:(1)直流电导法;(2)交流电导法;(3)跨导法.并测量了半导体表面迁移率与栅压的依赖关系.

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