塑封高压硅堆成品管内部结构测试分析 |
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引用本文: | 王水凤,曾宇昕,刘南生. 塑封高压硅堆成品管内部结构测试分析[J]. 南昌大学学报(理科版), 2002, 26(1): 57-60 |
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作者姓名: | 王水凤 曾宇昕 刘南生 |
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作者单位: | 1. 南昌大学物理学系,江西,南昌,330047 2. 南昌大学材料科学与工程系,江西,南昌,330047 |
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摘 要: | 针对塑封高压硅堆反向特性差的问题,采用“显微剖析”技术和“紫外荧光无损检测”(UVF)技术,对样管的内部结构及原材料进行测试分析,并与进口样管内部结构进行比较,找出了国产样管不足之处,提出了改进方案。
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关 键 词: | 塑封高压硅堆 成品管 内部结构 显微剖析 紫外荧光无损检测 半导体芯片 晶体管 |
文章编号: | 1006-0464(2002)01-0057-04 |
修稿时间: | 2001-06-01 |
INTERNAL MICRO-STRUCTURE ANALYSIS OF PLASTIC SEALED HIGH VOLTAGE SILICON PILE |
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