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| 影响微细铝条等离子刻蚀的物理化学因素 | |
| 引用本文： | 李思渊,张旗,王毓珍,宣建功.影响微细铝条等离子刻蚀的物理化学因素[J].半导体技术,1987(5). |
| 作者姓名： | 李思渊 张旗 王毓珍 宣建功 |
| 作者单位： | 兰州大学物理系 (李思渊，张旗，王毓珍)，兰州大学物理系(宣建功) |
| 摘 要： | 本文全面地研究了微细铝条等离子刻蚀的有关问题.从实验上给出了刻蚀的各向异性、均匀性以及刻蚀速率等基本参数与设备、工艺和物理因素的关系.成功地刻出了线度为1.5～2μm、厚度1.5μm的微细铝条. |
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