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| 用XPS对合成金刚石薄膜的评价 | |
| 引用本文： | 冉均国,郑昌琼,刘履华,辛川.用XPS对合成金刚石薄膜的评价[J].微细加工技术,1990(Z1). |
| 作者姓名： | 冉均国 郑昌琼 刘履华 辛川 |
| 作者单位： | 成都科技大学 (冉均国，郑昌琼)，中科院成都分院分析测试中心 (刘履华)，中科院成都分院分析测试中心(辛川) |
| 摘 要： | 金刚石薄膜有极高的硬度,是一种高耐磨的材料。在机械、冶金、钻探等方面有广泛的应用前景,可作为切削刀具、钻头等工具涂层;金刚石薄膜对可见、红外光透明,高导热,可作为大功率激光窗口材料;对金刚石薄膜进行特定的掺杂,可制得具有优良特性的P型和N |
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