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| 重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展 | |
| 引用本文： | 余尚先,顾江楠,童晓,方慧聪.重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展[J].影像科学与光化学,1998,16(1):83-90. |
| 作者姓名： | 余尚先 顾江楠 童晓 方慧聪 |
| 作者单位： | 北京师范大学化学系, 北京100875 |
| 摘 要： | 近年来有关重氮萘醌系正性抗蚀剂提高感度的研究文献综述均对应用较为成功的多酚化合物作了较为详细的介绍. |
| 关 键 词： | 重氮萘醌 正性抗蚀剂 多酚化合物 高感度 M/A值控制规律 |
| 收稿时间： | 1997-02-17 |
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