| 液相外延碲镉汞薄膜表面氧化特性的光电子能谱研究 |
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| 引用本文： | 李毅,易新建,蔡丽萍.液相外延碲镉汞薄膜表面氧化特性的光电子能谱研究[J].物理学报,2000,49(1):132-136. |
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| 作者姓名： | 李毅 易新建 蔡丽萍 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光电工程系，武汉 430074 |
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| 摘 要： | 利用X射线光电子谱对液相外延HgCdTe薄膜表面氧化特性进行了 研究，对经不同工艺过程处理的HgCdTe表面进行了测量、分析，结果表明碲镉汞表面经溴 无水乙醇溶液腐蚀后，再用乳酸 乙二醇溶液对表面进行处理，可获得氧化物极少甚至无氧 化的HgCdTe表面.说明HgCdTe表面钝化前的预处理直接影响钝化层/HgCdTe的界面特性.
关键词：
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| 关 键 词： | 碲镉汞薄膜 表面氧化特性 光电子能谱 |
Study on the Oxidative Characterization of Lpe HgCdTe Film Surface by XPS |
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| LI YI,YI XIN-JIAN,CAI LI-PING.Study on the Oxidative Characterization of Lpe HgCdTe Film Surface by XPS[J].Acta Physica Sinica,2000,49(1):132-136. |
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| Authors: | LI YI YI XIN-JIAN CAI LI-PING |
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Keywords： |
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