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| 高温处理对CNx薄膜晶化的影响 | |
| 引用本文： | 肖兴成,江伟辉,田静芬,宋力昕,胡行方.高温处理对CNx薄膜晶化的影响[J].物理学报,2000,49(1):173-176. |
| 作者姓名： | 肖兴成 江伟辉 田静芬 宋力昕 胡行方 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050 |
| 基金项目： | 中国科学院上海硅酸盐研究所所长择优基金 |
| 摘 要： | 利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜，然后在高温下、常压Ｎ气氛中进行热处理，利用ＤＴＡ，ＸＲＤ和Ａｕｇｅｒ研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化．实验结果表明：在１１８６℃附近出现了晶化现象，高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变，在ＸＲＤ图谱上出现α Ｃ３Ｎ４衍射峰．Ａｕｇｅｒ实验结果表明膜中出现富Ｃ，Ｓｉ，Ｎ的区域
关键词： |
| 关 键 词： | 高温处理 氮化碳薄膜 晶化 |
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