| 类Ni-NdX射线激光靶表面氧化研究 |
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| 引用本文： | 张哲,陈玲燕,吴永刚,乔轶.类Ni-NdX射线激光靶表面氧化研究[J].物理学报,2000,49(3):527-531. |
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| 作者姓名： | 张哲 陈玲燕 吴永刚 乔轶 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所,上海200092 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划!(批准号 :86 3 410 3 9)资助的课题 |
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| 摘 要： | 用磁控溅射镀膜法制备了Nd靶,研究了Nd靶在不同环境气氛下的氧化过程,并利用X射线光电子能谱、原子力显微镜对表面氧化物的化学态、表面形貌进行了分析和研究,得出Nd靶防氧化主要是防止表面的氢氧化这一结论
关键词：
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| 关 键 词： | X射线激光 靶 表面氧化 磁控油射镀膜法 |
| 收稿时间： | 8/7/1999 12:00:00 AM |
STUDY ON THE SURFACE OXIDATION OF Ni-LIKE Nd TARGET USED IN SOFT-X-RAY LASER |
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| ZHANG ZHE,CHEN LIN-GYAN,WU YONG-GANG,QIAO YI.STUDY ON THE SURFACE OXIDATION OF Ni-LIKE Nd TARGET USED IN SOFT-X-RAY LASER[J].Acta Physica Sinica,2000,49(3):527-531. |
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| Authors: | ZHANG ZHE CHEN LIN-GYAN WU YONG-GANG QIAO YI |
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