双面氧化弯曲法研究La_2O_3对高温α－Al_2O_3膜内应力的影响

利用改进的双面氧化弯曲方法，研究在不同氧化阶段，Ｌａ＿２Ｏ＿３对ＮｉＡｌ型涂层表面上形成的ａ－Ａｌ＿２Ｏ＿３膜内应力的影响。实验结果表明，升温过程中试样的偏转行为可以确定试片两侧不同涂层热膨胀系数的差异；９００℃恒温氧化５０ｈ时，Ｌａ＿２Ｏ＿３通过细化氧化膜晶粒，增加其塑性，使ａ－Ａｌ＿２Ｏ＿３膜内的生长应力降低约３．４３２ｘ１０￣３ＭＰａ；降温过程中，涂层的热膨胀系数对氧化膜的热应力有影响，且ＮｉＡｌ涂层上的氧化膜内应力主要在中温区（４００～６００℃）以膜开裂的形式释放，而会Ｌａ＿２Ｏ＿３的涂层上的氧化膜较致密完整，应力释放较少．