|
|||||
|
|
| 半导体行业用靶材及蒸发源材料 | |
| 引用本文： | 江轩,李勇军,闫琳,杨永刚,尚再艳.半导体行业用靶材及蒸发源材料[J].集成电路应用,2005(1):67-68. |
| 作者姓名： | 江轩 李勇军 闫琳 杨永刚 尚再艳 |
| 作者单位： | 有研亿金新材料股份有限公司,北京102200 |
| 摘 要： | 在不同产业相对比较之下，半导体产业对于溅射靶材、蒸发源材料的要求是最高的。半导体领域应用靶材是世界靶材市场的主要组成之一。本文主要介绍了靶材的分类、半导体行业用靶材的种类及制备工艺以及未来半导体行业用靶材的发展趋势。 |
| 关 键 词： | 半导体行业 蒸发源材料 溅射靶材 发展趋势 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |