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| 氩离子束刻蚀YBCO薄膜 | |
| 引用本文： | 刘让蛟,曾祥辉,王世光,戴远东.氩离子束刻蚀YBCO薄膜[J].低温物理学报,1991(5). |
| 作者姓名： | 刘让蛟 曾祥辉 王世光 戴远东 |
| 作者单位： | 北京大学物理系，北京大学物理系，北京大学物理系，北京大学物理系 北京，100871，北京，100871，北京，100871，北京，100871 |
| 摘 要： | 研究了氩离子束对 YBCO 薄膜和光刻胶掩膜的刻蚀速率,刻蚀了多种精细的图形,刻蚀后薄膜的 T_c 没有下降.通过测量 Ag 膜与 YBCO 膜的接触电阻,研究了离子束轰击后YBCO 膜表面的状况. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |