| 低压化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体 |
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| 引用本文： | 李宇杰,谢凯,许静,韩喻,涂圣义,李运鹏. 低压化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体[J]. 光子学报, 2009, 38(2) |
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| 作者姓名： | 李宇杰 谢凯 许静 韩喻 涂圣义 李运鹏 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学,材料工程与应用化学系,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散SiO2微球组装形成三维有序胶体晶体模板,用低压化学气相沉积法填充高折射率材料锗,酸洗去除SiO2模板,获得了锗反蛋白石三维光子晶体.通过扫描电镜、X射线衍射仪和紫外-可见-近红外光谱仪对锗反蛋白石的形貌、成分、结构和光学性能进行了表征.结果表明:锗在SiO2微球空隙内具有较高的结晶质量,填充致密均匀.通过改变沉积工艺,可控制锗的填充率;制备的锗反蛋白三维光子晶体具有明显的光学反射峰,表现出光学带隙效应.测试的光学性能与理论计算基本吻合.
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| 关 键 词： | 锗反蛋白石 光子晶体 低压化学气相沉积 溶剂蒸发对流自组装 |
Fabrication of Germanium Inverse Opal Three-dimensional Photonic Crystal by LPCVD |
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| LI Yu-jie,XIE Kai,XU Jing,HAN Yu,TU Sheng-yi,LI Yun-peng. Fabrication of Germanium Inverse Opal Three-dimensional Photonic Crystal by LPCVD[J]. Acta Photonica Sinica, 2009, 38(2) |
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| Authors: | LI Yu-jie XIE Kai XU Jing HAN Yu TU Sheng-yi LI Yun-peng |
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