| 气体放电电子束的特性和应用 |
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| 引用本文： | 杨正名 Goll.,GJ.气体放电电子束的特性和应用[J].电子学报,1993,21(6):90-93. |
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| 作者姓名： | 杨正名 Goll. GJ |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系，东南大学电子工程系，东南大学电子工程系，东南大学电子工程系，东南大学电子工程系，美国科罗拉多州立大学 南京 210018，南京 210018，南京 210018，南京 210018，南京 210018 |
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| 摘 要： | 本文描述了产生在软真空中的电子束及其特性,这种成本低廉的大功率电子束在微电子、光电子加工和等离子体化学方面有很大应用价值。文中给出了电子束的放电特性、强度空间分布和能谱的实测结果,对这种电子束的形成机理提出了新的见解。
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| 关 键 词： | 气体放电 电子束 真空 应用 |
The Properties and Applications of Gas Discharge Beams |
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| Yang Zhengming,Chen Songsheng,Yang Gengx-ing,Zhongyuan.The Properties and Applications of Gas Discharge Beams[J].Acta Electronica Sinica,1993,21(6):90-93. |
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| Authors: | Yang Zhengming Chen Songsheng Yang Gengx-ing Zhongyuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Gas discharge beam Soft vacuum |
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