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| 粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响 | |
| 引用本文： | 姚东升,俞昌旋,詹如娟,刘晶儒,王丽戈.粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响[J].中国科学A辑,2000,30(5):451-455. |
| 作者姓名： | 姚东升 俞昌旋 詹如娟 刘晶儒 王丽戈 |
| 作者单位： | 1.中国科学技术大学近代物理系,合肥 230026; 2.西北核技术研究所,西安 710024 |
| 基金项目： | 国家科技攻关项目，中国科学院资助项目 |
| 摘 要： | 采用两种不同脉宽 ( 30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜 ,通过等离子体发射光谱和离子探针的测量 ,研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化 ,对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较 ,并且研究了激光等离子体特性对淀积薄膜类金刚石性能的影响 |
| 关 键 词： | 飞秒脉冲激光 离子能量和通量 类金刚石膜 |
| 收稿时间： | 1999-10-18 |
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