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设计与制造之间的界面优化
摘 要:
分辨率增强技术(RET)设计流程中聚集了各式各样的点工具和方法。当前对深亚波长可制造性(DFM)设计的要求迫使设计与制造行业必须建立十分密切的合作关系。同时也促使EDA行业提供一种平台,以促进这些行业间的密切交流。合理利用这一平台将会对产能和品质产生直接的影响。
关 键 词:
设计流程
制造行业
界面优化
分辨率增强技术
合作关系
可制造性
合理利用
亚波长
EDA
平台
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