| 负偏压射频放电过程的流体力学模拟 |
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| 引用本文： | 朱武飚,王友年,邓新禄,马腾才.负偏压射频放电过程的流体力学模拟[J].物理学报,1996,45(7):1138-1145. |
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| 作者姓名： | 朱武飚 王友年 邓新禄 马腾才 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116023;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116023;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116023;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助的课题 |
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| 摘 要： | 采用流体力学方法研究了负偏压射频放电的物理过程,计算了带电粒子密度及电场的时空分布,分析了在不同的近似条件下,离子动量平衡方程中各项的贡献。
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| 关 键 词： | 等离子体 射频放电 流体力学模拟 |
| 收稿时间： | 1995-05-29 |
HYDRODYNAMICS SIMULATION OF RF DISCHARGE COURSES WITH NEGATIVE BIAS |
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| ZHU WU-BIAO,WANG YOU-NAIN,DENG XIN-LU and MA TENG-CAI.HYDRODYNAMICS SIMULATION OF RF DISCHARGE COURSES WITH NEGATIVE BIAS[J].Acta Physica Sinica,1996,45(7):1138-1145. |
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| Authors: | ZHU WU-BIAO WANG YOU-NAIN DENG XIN-LU and MA TENG-CAI |
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| Abstract: | In this paper , we have analysed the physical procedures of RF discharges with negative bias , using the hydrodynamics method, and have calculated the spatiotemporal distributions of charged par-ticals and the electric field. The contributions of each terms in momentum-balance equation of ions are also discussed under different approximations. |
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| Keywords: | |
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